Интегральные фильтры ВЧ- и СВЧ-диапазонов, выполненные по LTCC-технологии, находят применение во входных цепях и трактах ПЧ-современных устройств связи, локации, управления.
Интегральные фильтры, выполненные по LTCC-технологии, характеризуются высокими массогабаритными характеристиками и надежностью за счет интеграции сосредоточенных, квазисосредоточенных и распределенных элементов фильтров в керамическую плату.
Основные характеристики LC-фильтров:
- диапазон частот 10 кГц…1500 МГц;
- относительные полосы пропускания 10…200%;
- гарантированное затухание в полосе задерживания 30…60 дБ;
- вносимое затухание в полосе пропускания до 2 дБ;
- КСВН до 1,5.
Основные характеристики интегральных фильтров, выполненных на основе LTCC-технологии:
- диапазон частот 80 МГц…3000 МГц;
- относительные полосы пропускания 10 …70%;
- гарантированное затухание в полосе задерживания 20…40 дБ;
- вносимое затухание в полосе пропускания до 2…4 дБ.
Конструкция СВЧ-резонатора:
- структура SMR;
- диапазон рабочих частот 2 – 10 ГГц;
- добротность – 90-110;
- размеры верхнего электрода 10-2 – 10-1 мм;
- габариты - ~ 1х1 мм.
Технология изготовления СВЧ-резонатора
- электроакустический преобразователь:
- пьезоэлектрическая пленка с нижним (Mo) и верхним (Аl) электродами,
- толщина пьезоэлектрической пленки - λ/2,
- методы изготовления:
- магнетронное напыление в вакууме,
- селективная фотолитография;
- Брегговский рефлектор:
- пленки молибдена и алюминия – толщина пленок λ/4,
- метод изготовления – магнетронное напыление в вакууме,
- особенность технологии:
- возможность напыления металлических и пьезоэлектрических пленок в едином технологическом цикле на диэлектрические подложки,
- количество напыляемых слоев – до 15 пленок,
- диэлектрические подложки – ситалл, плавленый кварц, окисленный кремний и др.
Характеристики СВЧ-резонаторов:
- измеряемый параметр – S11;
- измерительные зонды – G-S-G 40 ГГц.
Услуги в рамках технологии изготовления СВЧ-резонатора:
- модернизация вакуумной установки под магнетронное и реактивное магнетронное напыление металлических и пьезоэлектрических пленок;
- технология напыления металлических и пьезоэлектрических пленок;
- селективная фотолитография верхнего электрода.
Практическая реализация
- тонкопленочные СВЧ-резонаторы и полосовые СВЧ-фильтры на их основе для беспроводных систем связи;
- объем продаж приборов и устройств SMR зарубежными фирмами в 2012 г. составил около 2 миллиардов USD.