СТРУКТУРА V-Mо-SiO2 БРЭГГОВСКОГО ОТРАЖАТЕЛЯ, ПОЛУЧЕННАЯ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
СТРУКТУРА V-Mо-SiO2 БРЭГГОВСКОГО ОТРАЖАТЕЛЯ, ПОЛУЧЕННАЯ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
DOI
10.33286/2075-8693-2020-46-74-84
Авторы
Струнин Владимир Иванович, д-р физ.-мат. наук, профессор, главный научный сотрудник ИРФЭ ОНЦ СО РАН. E-mail: trs@oniip.ru.
Баранова Лариса Васильевна, канд. техн. наук, старший научный сотрудник ИРФЭ ОНЦ СО РАН. E-mail: baranovalv@omsu.ru.
Несов Сергей Николаевич, канд. физ.-мат. наук, научный сотрудник ОНЦ СО РАН. E-mail: nesov55@mail.ru.
Корусенко Петр Михайлович, канд. физ.-мат. наук, научный сотрудник ОНЦ СО РАН. E-mail: korusenko_petr@mail.ru.
Ключевые слова
тонкопленочные структуры, брэгговский отражатель, пленки диоксида кремния, молибдена, метод РФЭС.
Аннотация
Приведены результаты исследования состава и химического состояния покрытия образцов брэгговских отражателей на основе пленок молибдена (Mo), ванадия (V), диоксида кремния (SiO2) и алюминия (Al), сформированных методом магнетронного распыления на постоянном токе в атмосфере аргона. Изучено влияние напыления на поверхность пленок оксида кремния, а также травления поверхности. Определены причины, влияющие на адгезию и шероховатость поверхностей тонкопленочных слоев брэгговского отражателя.
Литература
1. Мансфельд Г. Д., Попова Д. В., Алексеев С. Г., Ползикова Н. И. Анализ тонкопленочных брэгговских структур и пьезоэлектрических СВЧ-резонаторов на их основе // Радиотехника и электроника. 2010. Том 55, № 11. С. 1387–1395.
2. Способ сглаживания поверхности пленки алюминия на диэлектрической подложке : патент 217.015 Рос. Федерация : C1BE / Зима В. Н., Козлов А. Г., Танская Т. Н. Опубл. 25.08.2017.
3. Струнин В. И., Зима В. Н., Чириков Н. А., Козлов А. Г. Механические напряжения в пленках молибдена, сформированных методом магнетронного распыления на ситалловой подложке // Проблемы машиноведения : материалы III Междунар. науч.-техн. конф. (23–24 апр. 2019 г., Омск, Россия) : в 2 ч. / Минобрнауки России [и др.] ; [науч. ред. П. Д. Балакин]. Омск : Изд-во ОмГТУ, 2019.
4. Зима В. Н., Козлов А. Г., Танская Т. Н. Тонкопленочный резонатор с брэгговским отражателем // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. 2015. Том 14, № 4. С 11–14.
5. Зайдель А. Н., Прокопьев В. К., Райский С. М., Славный В. А., Шрейдер Е. Я. Таблицы спектральных линий : справочник. М. : Наука, 1977.
Для цитирования
Струнин В. И., Баранова Л. В., Байсова Б. Т., Несов С. А., Корусенко П. М. Структура V-Mо-SiO2 брэгговского отражателя, полученная методом магнетронного распыления // Техника радиосвязи. 2020. Выпуск 3 (46). С. 74–84. DOI: 10.33286/2075-8693-2020-46-74-84.