МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ ОСТАТОЧНЫХ ГАЗОВ В ГЕРМЕТИЧНОМ КОРПУСЕ ТЕРМОСТАТИРОВАННЫХ КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ
МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ ОСТАТОЧНЫХ ГАЗОВ В ГЕРМЕТИЧНОМ КОРПУСЕ ТЕРМОСТАТИРОВАННЫХ КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ
DOI
10.33286/2075-8693-2018-38-82-90
Авторы
В. И. Струнин – д-р физ.-мат. наук, профессор, заведующий кафедрой экспериментальной физики и радиофизики ОмГУ им. Ф. М. Достоевского. E-mail: strunin@omsu.ru.
К. А. Белоусов – студент кафедры экспериментальной физики и радиофизики ОмГУ им. Ф. М. Достоевского. E-mail: grafdbelousov@gmail.com.
Г. Ж. Худайбергенов – канд. физ.-мат. наук, доцент кафедры экспериментальной физики и радиофизики ОмГУ им. Ф. М. Достоевского. E-mail: hudayber@omsu.ru.
Е. А. Чукавов – АО «ОНИИП». E-mail: info@oniip.ru.
А. М. Ярош – АО «ОНИИП». E-mail: info@oniip.ru.
Ключевые слова
масс-спектрометрия, подкорпусное пространство, кварцевый резонатор термостатированный, КРТ
Аннотация
Разработан измерительный стенд с вакуумом 10–5–10–6 Па для определения остаточных газов на корпусе и внутри корпусов изделий. Получены спектры остаточных газов до и после разгерметизации кварцевых резонаторов-термостатов в корпусе DIL-14. Проведен качественный анализ состава газа при температурах 20–160 °С.
Литература
1. Орлов В. И., Федосов В. В. Качество электронной компонентной базы – залог длительной работоспособности космических аппаратов // Решетневские чтения: матер. науч.-техн. конф. Красноярск, 2013. С. 238–241.
2. Lowry R. K., Kullberg R. C., Rossiter D. J. Harsh environments and volatiles in sealed enclosures // Surface Mount Technology Association International Technical Conference, October 24–28, 2010, Orlando, FL, pp. 380–386.
3. Новый методологический подход к контролю качества электронной продукции для космических систем с использованием масс-спектрометрического комплекса МКМ-1 / И. Л. Федичкин [и др.]. 2013. С. 1–11. URL: http://www.spectromass.ru/publikatsii/.
4. Федичкин И.Л. Тюкальцев Р.В., Никитина Т.А. Масс-спектрометрический метод определения концентрации паров воды в подкорпусном пространстве. Комплекс МКМ-1 // Тр. Первой Рос.-белорус. науч.-техн. конф. «Элементная база отечественной конференции». 2013. С. 217–220.
5. URL: http://www.nist.gov/srd/chemistry.cfm/.
Для цитирования
Масс-спектрометрия остаточных газов в герметичном корпусе термостатированных кварцевых резонаторов / В. И. Струнин, К. А. Белоусов, Г. Ж. Худайбергенов, Е. А. Чукавов, А. М. Ярош // Техника радиосвязи. 2018. Вып. 3 (38). С. 82–90.
Ссылка на текст статьи в РИНЦ