ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ЧАСТОТНОЙ ПОДГОНКИ СВЕРХУЗКОПОЛОСНЫХ ФИЛЬТРОВ НА ПАВ
DOI
DOI 10.33286/2075-8693-2019-41-93-100
Авторы
Косарев Борис Андреевич – сотрудник АО «ОНИИП». Е-mail: trs@oniip.ru.
Корж Иван Александрович – канд. техн. наук, сотрудник АО «ОНИИП». Е-mail: trs@oniip.ru.
Ключевые слова
сверхузкополосный ПАВ-фильтр, подгонка центральной частоты, жидко- и плазмохимическое травление
Аннотация
Представлены результаты экспериментов по подгонке сверхузкополосных ПАВ-фильтров c центральными частотами 65, 71 и 80 МГц. Приведены технологические параметры, позволяющие изготавливать сверхузкополосные ПАВ-фильтры с высокой точностью попадания в заданную центральную частоту.
Литература
1. Narrow Bandpass Filters Using Double-Mode SAW Resonators on Quartz / M. Tanaka [et al.] // IEEE 38th Annual Frequency Control Symp, 1984. pp. 286–293
2. Тихонов И. А., Доберштейн С. А. Фильтр на ПАВ на связанных резонаторах с уменьшенными габаритами и улучшенной термостабильностью // Техника радиосвязи. 2004. Вып. 9. С. 82–89.
3. Термостабильный узкополосный фильтр на поверхностных акустических волнах : пат. 2523958 Рос. Федерация / Корж И. А., Тихонов И. А., Косарев Б. А. Опубл. 27.07.2014, Бюл. № 21.
4. Фильтры на поверхностных акустических волнах (расчет, технология, применение) : пер. с англ. / под ред. Г. Мэттьюза. М. : Радио и связь, 1981. 472 с.
5. Корж И. А. Сверхузкополосные фильтры на поверхностных акустических волнах. Технологические особенности изготовления // Техника радиосвязи. 1997. Вып. 4. С. 37–39.
Для цитирования
Косарев Б. А., Корж И. А. Технологические особенности частотной подгонки сверхузкополосных фильтров на ПАВ // Техника радиосвязи. 2019. Вып. 2 (41).