РАЗРАБОТКА ИНТЕГРАЛЬНЫХ LC-ФИЛЬТРОВ НИЖНИХ ЧАСТОТ НА ОСНОВЕ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ ТЕХНОЛОГИИ
DOI
DOI 10.33286/2075-8693-2019-41-87-92
Авторы
Борейко Денис Александрович, канд. техн. наук, сотрудник АО «ОНИИП». E-mail: trs@oniip.ru.
Тюменцев Александр Иванович, канд. техн. наук, сотрудник АО «ОНИИП». E-mail: trs@oniip.ru.
Солодовникова Ольга Ивановна, сотрудник АО «ОНИИП». E-mail: trs@oniip.ru.
Ключевые слова
интегральные LC-фильтры, ФНЧ, тонкопленочные технологии, элементы с сосредоточенными параметрами, АЧХ
Аннотация
Представлена разработка фильтров нижних частот на основе многослойных конденсаторов и катушек индуктивности в интегральном исполнении с применением технологии напыления металлизации и диэлектрических слоев в вакууме. Проведено электромагнитное моделирование конструкций данной элементной базы и фильтров нижних частот на их основе. Представлены расчетные и экспериментальные характеристики.
Литература
1. Вендик И., Холодняк Д., Симин А. Многослойные интегральные схемы сверхвысоких частот на основе керамики с низкой температурой обжига // Компоненты и технологии. 2005. № 5. С. 190–196. URL: https://www.kit-e.ru/assets/files/pdf/2005_05_190.pdf.
2. Ворожцов А. Л. Технология интегрированных пассивных устройств // Обмен опытом в области создания сверхширокополосных радиоэлектронных систем(СВЧ –2018) : матер. VII Всерос. науч.-техн. конф. (Омск, 17–18 апреля 2018 г.). Омск : Изд-во ОмГТУ, 2018. С. 97–102.
3. Босый Н. Д. Электрические фильтры. Киев, 1957. 516 с.
4. Ханзел Г. Е. Справочник по расчету фильтров / пер. с англ. под ред. А. Е. Знаменского. М. : Сов. радио, 1974. 288 с.
5. Борейко Д. А., Тюменцев А. И. Улучшение параметров элементной базы в интегральном исполнении // Электроника и микроэлектроника СВЧ : сб. ст. IV Всерос. конф.– СПб. : СПбГЭТУ, 2015. Т. 2. С. 69–73.
6. Bahl Inder. Lumped Elements for RF and Microwave Circuits. Boston : London : Artech House, 2003. 488 p.
Для цитирования
Борейко Д. А., Тюменцев А. И., Солодовникова О. И. Разработка интегральных LC-фильтров нижних частот на основе тонкопленочной технологии // Техника радиосвязи. 2019. Вып. 2 (41). С. 87–92.