УСОВЕРШЕНСТВОВАННЫЙ ПОДХОД К ПРОЕКТИРОВАНИЮ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ LC-ФИЛЬТРОВ С УЧЕТОМ ПАРАЗИТНЫХ ПАРАМЕТРОВ
УСОВЕРШЕНСТВОВАННЫЙ ПОДХОД К ПРОЕКТИРОВАНИЮ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ LC-ФИЛЬТРОВ С УЧЕТОМ ПАРАЗИТНЫХ ПАРАМЕТРОВ
Авторы
Борейко Денис Александрович, канд. техн. наук, сотрудник АО «ОНИИП», e-mail: trs@oniip.ru.
Тюменцев Александр Иванович, канд. техн. наук, сотрудник АО «ОНИИП», e-mail: trs@oniip.ru.
Павлова Ольга Ивановна, сотрудник АО «ОНИИП», e-mail: trs@oniip.ru.
Ключевые слова
тонкопленочные технологии, ФНЧ, ФВЧ, СВЧ-диапазон, электромагнитное моделирование
Аннотация
Представлен новый подход к проектированию тонкопленочных LC-фильтров с учетом паразитных параметров и технологических особенностей их производства. Спроектированы и изготовлены фильтры нижних и верхних частот в тонкопленочном исполнении. Измерены их частотные характеристики с помощью зондовой станции.
Литература
1. Вендик И. Б., Холодняк Д. В., Симин А. Многослойные интегральные схемы сверхвысоких частот на основе керамики с низкой температурой обжига // Компоненты и технологии. 2005. № 5.
2. Ворожцов А. Л. Технология интегрированных пассивных устройств // Матер. VII Всерос. науч.-техн. конф. «Обмен опытом в области создания сверхширокополосных радиоэлектронных систем». Омск, 2018. С. 97–102.
3. Bahl Inder. Lumped Elements for RF and Microwave Circuits. Boston ; London, 2003. 488 p.
4. Гимпельсон В. Д., Радионов Ю. А. Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники. М. : Машиностроение, 1976. 328 с.
5. Борейко Д. А., Тюменцев А. И., Солодовникова О. И. Разработка интегральных LC-фильтров нижних частот на основе тонкопленочной технологии // Техника радиосвязи. 2019. Выпуск 41 (2). С. 87–92.
6. Босый Н. Д. Электрические фильтры. Киев : Гос. изд-во техн. литер. УССР, 1957. 516 с.
7. Ханзел Г. Е. Справочник по расчету фильтров. М. : Сов. радио, 1974. 288 с.
8. Борейко Д. А., Тюменцев А. И. Улучшение параметров элементной базы в интегральном исполнении // Сборник статей IV Всерос. науч.-техн. конф. «Электроника и микроэлектроника СВЧ». СПб. : СПбГЭТУ, 2015. Том 2. С. 69–73.
Для цитирования
Борейко Д. А., Тюменцев А. И., Павлова О. И. Усовершенствованный подход к проектированию тонкопленочных LC-фильтров с учетом паразитных параметров // Техника радиосвязи. 2023. Выпуск 1 (56). С. 84–90.