ОЦЕНКА ФАЗОВОГО СОСТАВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ОЛОВА НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА СПЕКТРОВ ИХ ОПТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ
ОЦЕНКА ФАЗОВОГО СОСТАВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ОЛОВА НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА СПЕКТРОВ ИХ ОПТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ
DOI
10.33286/2075-8693-2020-44-104-109
Авторы
Давлеткильдеев Надим Анварович, канд. физ.-мат. наук, доцент, старший научный со-трудник ОНЦ СО РАН, сотрудник АО «ОНИИП». E-mail: trs@oniip.ru.
Мосур Евгений Юрьевич, канд. физ.-мат. наук, доцент, старший научный сотрудник ОНЦ СО РАН, сотрудник АО «ОНИИП». E-mail: trs@oniip.ru.
Ключевые слова
тонкие пленки, оксид олова, спектральная эллипсометрия, фазовый состав
Аннотация
Представлена методика оценки фазового состава тонких пленок на основе моделирования спектров показателя преломления. Возможности предложенной методики продемонстрированы на примере тонких пленок оксида олова (SnOx).
Литература
1. Fujiwara H. Spectroscopic ellipsometry: principles and applications. Chichester : John Wiley & Sons Ltd, 2007. 177 p.
2. Mittemeijer E. J., Welzel U. Modern Diffraction Methods. Weinheim : John Wiley & Sons, 2013. 554 p.
3. Stjerna B., Granqvist C. G. Optical and electrical properties of SnOx thin films made by reactive r.f. magnetron sputtering // Thin Solid Films. 1990. Vol. 193–194 (Part 2), pp. 704–711.
4. Исследование слоев нанокомпозита пористый кремний – оксид олова с помощью метода спектральной эллипсометрии / В. В. Болотов [и др.] // Журнал технической физики. 2011. Т. 81. Вып. 11. С. 52–57.
5. Wemple S. H., DiDomenico M., Jr. Behavior of Electronic Dielectric Constant in Co-valent and Ionic Materials // Physical Review B. 1971. Vol. 3, no. 4, pp. 1338–1351.
6. Goldsmith S., Çetinörgü E., Boxman R. L. Modeling the optical properties of tin oxide thin films // Thin Solid Films. 2009. Vol. 517, pp. 5146–5150.
7. Wemple S. H. Optical oscillator strengths and excitation energies in solids, liquids, and molecules // J. Chem. Phys. 1977. Vol. 67, no. 5, pp. 2151–2168.
2. Mittemeijer E. J., Welzel U. Modern Diffraction Methods. Weinheim : John Wiley & Sons, 2013. 554 p.
3. Stjerna B., Granqvist C. G. Optical and electrical properties of SnOx thin films made by reactive r.f. magnetron sputtering // Thin Solid Films. 1990. Vol. 193–194 (Part 2), pp. 704–711.
4. Исследование слоев нанокомпозита пористый кремний – оксид олова с помощью метода спектральной эллипсометрии / В. В. Болотов [и др.] // Журнал технической физики. 2011. Т. 81. Вып. 11. С. 52–57.
5. Wemple S. H., DiDomenico M., Jr. Behavior of Electronic Dielectric Constant in Co-valent and Ionic Materials // Physical Review B. 1971. Vol. 3, no. 4, pp. 1338–1351.
6. Goldsmith S., Çetinörgü E., Boxman R. L. Modeling the optical properties of tin oxide thin films // Thin Solid Films. 2009. Vol. 517, pp. 5146–5150.
7. Wemple S. H. Optical oscillator strengths and excitation energies in solids, liquids, and molecules // J. Chem. Phys. 1977. Vol. 67, no. 5, pp. 2151–2168.
Для цитирования
Давлеткильдеев Н. А., Мосур Е. Ю. Оценка фазового состава тонких пленок оксида олова на основе анализа спектров их оптических параметров // Техника радиосвязи. 2020. Вып. 1 (44). С. 104–109. DOI 10.33286/2075-8693-2020-44-104-109.