ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ПЛЕНОК АЛЮМИНИЯ НА ДОБРОТНОСТЬ МИКРОЭЛЕКТРОННОГО ОАВ-РЕЗОНАТОРА
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ПЛЕНОК АЛЮМИНИЯ НА ДОБРОТНОСТЬ МИКРОЭЛЕКТРОННОГО ОАВ-РЕЗОНАТОРА
DOI
10.33286/2075-8693-2018-36-112-120
Авторы
Зима Валерий Николаевич – канд. техн. наук, АО «ОНИИП». E-mail: info@oniip.ru.
Торгаш Татьяна Николаевна – канд. техн. наук, АО «ОНИИП». E-mail: info@oniip.ru.
Козлов Александр Геннадьевич – д-р техн. наук, декан РТФ ОмГТУ, АО «ОНИИП». E-mail: info@oniip.ru.
Ключевые слова
микроэлектронный ОАВ-резонатор, добротность, пленки алюминия, иттрий, магнетронное распыление, шероховатость поверхности
Аннотация
Рассмотрен метод магнетронного напыления пленок алюминия с минимальной шероховатостью поверхности путем использования алюминиевой мишени со вставками иттрия. Получены экспериментальные образцы пленок алюминия со значением среднеквадратичного отклонения высоты неровностей поверхности около 2–3 нм и удельным электрическим сопротивлением 8–12 мкОм·см. Изготовлены образцы микроэлектронных ОАВ-резонаторов с пьезоэлектрическими пленками из оксида цинка и нитрида алюминия и исследованы их электрические характеристики. Показано, что добротность резонаторов на основе пленок оксида цинка и нитрида алюминия увеличивается до 350 и 787 единиц соответственно.
Литература
1. Акустоэлектронные устройства обработки и генерации сигналов. Принципы работы, расчета и проектирования / О. Л. Балышева [и др.]. М. : Радиотехника, 2012. 576 с.
2. Hashimoto K. RF Bulk Acoustic Wave Filters for Communications. Norwood, MA : Artech House, 2009. 275 p.
3. Tanskaya T. N., Zima V. N., Kozlov A. G. The Influence of Surface Roughness of Bragg Reflector Layers on Characteristics of Microwave Solidly Mounted Resonator // 2015 IEEE International Siberian Conference on Control and Communications (SIBCON). 2015. P. 1–4.
4. Influence of surface roughness of Bragg reflector on resonance characteristics of solidly mounted resonators / C. J. Chung [et al.] // IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics, and Frequency Control. 2007. Vol. 54, no. 4. P. 802–808.
5. Dependence of the electromechanical coupling on the degree of orientation of ctextured thin AlN films / J. Bjustrom [et al.] // IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics, and Frequency Control. 2004. Vol. 51, no. 10. P. 1347–1353.
6. Baumgartel L., Kim E. S. Experimental Optimization of Electrodes for High Q, High Frequency HBAR // IEEE Transactions on Ultrasonics Symposium, 2009. P. 2107–2110.
7. Ta2O5/SiO2 insulating acoustic mirrors for AlN-based X-band BAW resonators / J. Capilla [et al.] // IEEE Transactions on Ultrasonics Symposium, 2011. P. 1704–1707.
8. Танская Т. Н., Зима В. Н., Козлов А. Г. Сравнительный анализ технологии изго-товления и характеристик тонкопленочных СВЧ резонаторов на ОАВ // Обмен опытом в области создания сверхширокополосных радиоэлектронных систем : матер. VI Обще-рос. науч.-техн. конф. Омск : Изд-во ОмГТУ, 2016. С. 355–367.
9. Танская Т. Н., Зима В. Н., Козлов А. Г. Пленки молибдена для брэгговского отражателя микроэлектронных резонаторов на объемных акустических волнах // Нано- и микросистемная техника. 2015. № 7 (180). С. 27–36.
10. Thornton J. A. High rate thick film growth // Annual Review of Materials Science. 1977. No. 7. P. 239–260.
11. Способ сглаживания поверхности пленки алюминия на диэлектрической подложке : пат. 2617890 С2 Рос. Федерация : МПК H01L 21/28 / В. Н. Зима, Т. Н. Танская, А. Г. Козлов. Заявл. 05.11.14 ; опубл. 28.04.17, Бюл. № 13.
Для цитирования
Зима В. Н., Торгаш Т. Н., Козлов А. Г. Исследование влияния шероховатости поверхности пленок алюминия на добротность микроэлектронного ОАВ-резонатора // Техника радиосвязи. 2018. Вып. 1 (36). С. 112–120.
Ссылка на текст статьи в РИНЦ